L’ellipsométrie est une technique optique d’analyse de surface, fondée sur le changement d’état de polarisation de la lumière, après réflexion sur la surface plane d’un échantillon. Un ensemble de matériel a été conçu pour vous permettre d’introduire le principe et les applications de cette technique de plus en plus utilisée dans le monde de l’industrie.
Le but du TP proposé est d’assembler et régler un ellipsomètre didactique et de réaliser de nombreuses mesures : détermination des constantes optiques (indice de réfraction, indice d’absorption…), mesure de l’épaisseur de couches minces de différents échantillons.
Une approche sur les incertitudes et erreurs de mesure est également abordée.
Système ellipsomètre de précision
Composants polariseur circulaire (x1) polariseur linéaire (x2), lame quart d’onde (x1)
Sources laser compact vert (532 nm) 1mW, diode Laser rouge (650 nm) 1mW
Détecteurs cible avec graduation, détecteur luxmètre
Echantillons substrat de silicium, monocouche silicium, échantillon d’Aluminium, lame de Verre
Logiciel ‘Ellipso’ (compatible XP/Vista/Seven)